TY -的A2卡莉丝,汤姆盟——他,冀中PY - 2013 DA - 2013/03/19 TI -相关缺陷分析仪滑翔试验结合原子力显微镜SP - 657363六世- 2013 AB -我们已经开发出一种新型仪器结合滑翔测试仪和原子力显微镜(AFM)对硬盘驱动器(HDD)媒体缺陷测试和分析。滑移试验和AFM成像过程中，试样均保持在同一测试主轴上，不会丢失相关坐标。这使得使用高分辨率AFM对滑动测试检测到的缺陷进行原位评估成为可能。即时的AFM后续分析能力解决了当前工作流程中缺陷快速准确定位的问题。该工具还具有其他功能，如划线、光学成像和头部抛光。本文最后给出了该工具生成的典型数据。进一步证明，利用该工具的相关功能，可以在该平台上进行新的实验。SN - 1687-5915 UR - https://doi.org/10.1155/2013/657363 DO - 10.1155/2013/657363 JF -摩擦学进展