TY -的A2 Ragonese Egidio盟——Reissman盖盟——公园、Joon-Sik AU -加西亚,Ephrahim PY - 2012 DA - 2012/04/03 TI多层堆叠螺旋电感铜在硅微亨电感使用单层光刻SP - 871620六世- 2012 AB -我们目前铜组成的多层结构,多层电感器(MLSIs)数万微亨电感用于低频率(子100 MHz),电源转换器的技术。独特的这个工作是在传统的单层光刻技术的引入两级的方法来创建每个电感层。结果是一个简化制造工艺导致减少的数量每电感(金属)层蚀刻步骤,减少必要的校准精度。此外,我们表明,该制造过程产生层间附着力强,因为即使后处理磨蚀技术内径的电感,不保存剪切发生和连接。总的来说,使用单级光刻技术制造的三个独立的结构方法,每一个都有三层、多层电感器设计,但不同的几何图形。测量值为每个结构提取,和下面的结果:电感值为24.74,17.25和24.74 μH, self-resonances的9.87,5.72,和10.58兆赫,和最高质量的因素2.26,2.05,和4.6,分别。这些值是在良好的协议与集中参数模型。SN - 0882 - 7516你2012/871620 / 10.1155——https://doi.org/10.1155/2012/871620——摩根富林明,主动和被动电子元器件PB - Hindawi出版公司KW - ER