TY -的A2 -戴,梁京盟-杨,凯盟-李,中国非盟-陈,大鹏PY - 2012 DA - 2012/07/03 TI -氧化锌小说t形截面的设计和制造的压电悬臂梁传感器SP - 834961六世- 2012 AB -一种新型氧化锌丁字形的压电悬臂梁传感器化学/生物检测与MEMS技术设计和制造。利用瑞利-里兹方法首次推导出t形悬臂梁的基本谐振频率公式，并通过仿真和实验结果进行了验证。由公式可以很容易地看出悬臂采用t形的优越性。完成了悬臂式传感器的研制。悬臂式传感器由一层高质量的ZnO薄膜驱动，具有首选的(002)取向，通过SEM和XRD进行评估。该工艺的关键是采用一种新的有效的方法保护氧化锌膜不受KOH腐蚀，这在文献中是很少出现的。最后用网络分析仪对该悬臂式传感器进行测量，其基本谐振频率为24.60 kHz。在这项研究中开发的悬臂式传感器说明了许多小型化传感器应用的可行性和潜力。SN - 0882-7516 UR - https://doi.org/10.1155/2012/834961 DO - 10.1155/2012/834961 JF -有源和无源电子元件PB - Hindawi Publishing Corporation KW - ER -