TY -的A2 -戴,梁京盟- Chang Wen-Teng PY - 2011 DA - 2011/10/13 TI -静态和动态引线电容弯曲Microresonator SP - 546986六世- 2011 AB -本文评价的静态和动态引线电容硅carbide-based flexural-mode微机电系统谐振器。用网络分析仪测量了常压下的静态馈通电容。运动馈通是通过在建模电路中引入不同的值来拟合减压测得的波德图来获得的。静态馈通电容为0.02 pF，而同一器件的动态馈通电容约为0.2 pF，比静态馈通电容大一个数量级。SN - 0882-7516 UR - https://doi.org/10.1155/2011/546986 DO - 10.1155/2011/546986 JF - Active and Passive Electronic Components PB - Hindawi Publishing Corporation KW - ER -