TY -的盟Hodebourg c . a . AU -代表,c . r . PY - 2001 DA - 1900/01/01 TI -一些调查的各向异性(hk0)和(hhl)的化学蚀刻硅板在35%氢氧化钠溶液。第一部分:2 d腐蚀形状SP - 080453六世- 24 AB - SN - 0882 - 7516 UR - https://doi.org/10.1155/2001/80453做- 10.1155 / 2001/80453摩根富林明主动和被动电子元器件PB - Hindawi出版公司KW - ER