TY -的非盟代表c . r . AU - Leblois t . g . AU - Charbonnieras a . PY - 2000 DA - 1900/01/01 TI - {hk0}的化学蚀刻硅板我在电子数据处理部分:实验和比较TMAH SP - 243450六世- 23 AB - SN - 0882 - 7516 UR - https://doi.org/10.1155/APEC.23.37 - 10.1155 / APEC.23.37摩根富林明,主动和被动电子元器件PB - Hindawi出版公司KW - ER