TY-JOUR AU-Kinsner，W.PY-1981 DA-1900/01/01 TI-A离子注入结构中的气泡理论SP-856406 VL-8 AB-SN-0882-7516 UR-https://doi.org/10.1155/APEC.8.247 DO-10.1155/APEC.8.247 JF-电子元件科技PB-印度教出版公司KW-ER-