TY -的盟Sabnis Anant g . PY - 1980 DA - 1900/01/01 TI -华盛顿特区溅射过程:描述和问题应用于二氧化锡超薄薄膜SP - 602123六世- 7 AB - SN - 0882 - 7516 UR - https://doi.org/10.1155/APEC.7.19 - 10.1155 / APEC.7.19 JF - ElectroComponent科技PB Hindawi出版公司KW - ER