TY -的A2 Dinda大师p . AU - Brogden,瓦莱丽AU -约翰逊,卡梅伦盟——街,乍得AU -格雷厄姆,杰里米非盟- Langworthy,库尔特盟——Golledge Stephen盟——讲,本PY - 2021 DA - 2021/01/13 TI -材料与Multi-Ion物种等离子体聚焦离子束溅射SP - 8842777六世- 2021 AB -聚焦离子光束横截面的一个必不可少的工具在微尺度材料分析,准备TEM样品,和更多。新的等离子体离子源允许更高的束电流和选项使用非传统的离子物种,导致增加通用性广泛的衬底材料。在本文中,我们目前的结果four-material研究从五个不同的离子物种以不同的光束能量。当然,这是一个小型抽样巨大的各种潜在的标本和离子物种组合。我们表明,铣率和变形工件很多样。因此,有必要进行系统的探索不同的离子物种机不同的材料。有要做的事情,它应该是一个社区的努力。在这里,我们提出一个公开可用的自动化脚本用于溅射率测量和描述变形工件以及协同数据库,任何人都可以做出自己的贡献。我们也提出一些新应用程序的思路集中与小说离子束流的物种。SN - 1687 - 8434你——https://doi.org/10.1155/2021/8842777——10.1155 / 2021/8842777 JF -材料科学与工程的进步PB - Hindawi KW - ER