TY -的A2 -杨,燕盟歌,Min-Kyoo盟——Jhang Kyung-Young PY - 2013 DA - 2013/12/15 TI -裂纹检测单个水晶硅片使用激光生成的兰姆波SP - 950791六世- 2013 AB -在半导体行业,随着要求高性能、大容量、高可靠性和紧凑的组件,裂缝已经按照最关键的问题之一近年来极低的日益增长的需求。先前的研究人员提出了硅晶片上的裂缝检测与air-coupled超声波法成功。然而,高阻抗失配将在工业领域的问题。在本文中,为了检测裂缝,我们提出一个激光生成兰姆波方法不仅是无触点,而且可靠的测量。laser-ultrasonic生成器和激光干涉仪作为发射器和一个接收器,分别。我们首先验证了S0和A0兰姆波模式的识别,然后进行了热弹性政权下的裂纹检测。实验结果表明,S0和A0模式兰姆波显然是生成和检测到,在裂纹检测的情况下,估计裂纹尺寸6 dB滴法几乎是等于实际裂纹尺寸。所以,该方法将能够检测裂纹在工业领域的硅晶片。SN - 1687 - 8434你2013/950791 / 10.1155——https://doi.org/10.1155/2013/950791——摩根富林明-材料科学与工程的进步PB Hindawi出版公司KW - ER