TY -的A2 Gyulai约瑟夫盟——Haublein Volker盟——Ryssel Heiner AU -弗雷洛萨PY - 2012 DA - 2011/11/14 TI -离子光束的纯度:质谱分析和仿真和大规模干扰离子注入SP - 610150六世- 2012 AB -本文表明,离子的电荷交换事件与离解反应可能会影响离子注入的离子束的纯度,导致污染的植入目标。物理关系推导解释为什么有害离子运输的离子束尽管磁分离。基于这些关系,仿真工具ENCOTION(精力充沛的污染模拟)了。ENCOTION的模拟是一个非常强大的工具,通过磁分析器离子的传输机制和质谱的模拟,本文将展示。SN - 1687 - 8434你2012/610150 / 10.1155——https://doi.org/10.1155/2012/610150——摩根富林明-材料科学与工程的进步PB Hindawi出版公司KW - ER