TY -的A2 Balogh亚当Georg AU -惠特比,詹姆斯·a . AU - Ostlund弗雷德里克•AU -霍彼得盟——Gabureac国王AU -里斯,杰西卡·l . AU - Utke Ivo AU - Hohl马库斯AU - Sedlaček, Libor AU - Jiruše,书中盟——Friedli总经理盟——Bechelany Mikhael AU -本高空间分辨率的飞行时间二次离子质谱分析:一种新型正交ToF光纤- sims仪器原位AFM SP - 180437 VL - 2012 AB -我们描述了一种正交飞行时间(TOF)二次离子质谱仪的设计和性能，该质谱仪可以改进现有的聚焦离子束(FIB)仪器。特别是，制造商Tescan已经为FIB/SEM仪器开发了一个简单的接口。对质量分析仪的正交提取消除了脉冲主离子束的需要，也不需要使用单同位素镓来保持质量分辨率。新仪器的高负载周期和合理的收集效率，结合镓液态金属离子源的高空间分辨率，允许化学观察小于50 nm的特征。我们还演示了扫描探针显微镜(SPM)作为原子力显微镜(AFM)在FIB/SEM-SIMS腔内的集成。这提供了粗糙度信息，也将允许真正的三维化学图像重建从SIMS测量。SN - 1687-8434 UR - https://doi.org/10.1155/2012/180437 DO - 10.1155/2012/180437