ty -jour a2 -leskela,Markku au -Kondoh,Katsuyoshi au -Kawabata,Kenshi au -Serikawa -Serikawa,Tadashi au -Kimura,Hisamichi Py -2008 da -2008 da -2008/11/20/20/20 TI-通过金属玻璃玻璃玻璃粉刷的玻璃玻璃制成的电影和结晶的特征和结晶使用ZR系统目标SP-312057 VL-2008 AB-ZR-AL-NI-CU薄膜通过低底物温度下的射频溅射法沉积了三种目标:
ZR
55
al
10
你
5
铜
30
散装金属玻璃目标(
α
-bmg靶标),结晶的大量金属玻璃目标(C-BMG目标)和由每个Zr,Al,Ni芯片和CU板组成的元素复合靶标。使用这些靶标时制备的膜的XRD轮廓表明所有薄膜都显示出无定形结构。而电影的xrd曲线
α
- 和C-BMG目标显示
2
θ
=
38
学位与
α
-bmg靶标表示无定形结构,使用元素复合靶标的膜的靶标显示了一个广阔的峰
2
θ
=
42
程度,与后一种材料相比,该度更高。由于在各种温度下退火900秒,这部电影使用
α
-BMG靶标的结晶温度为748 K,高于723 K的BMG,而其他膜的结晶温度低于723K。XRD轮廓也表明薄膜的结晶化合物与BMG靶标的结晶化合物不同。SN -1687-8434 UR -https://doi.org/10.1155/2008/312057 do -10.1155/2008/312057 JF-材料科学研究信PB-印度威书出版公司KW- er- er- er- er-