永明泰的A2 - Li盟——刘Chiun-Ming AU - Ji,美玉盟,壮族Wen-Chieh PY - 2013 DA - 2013/05/12 TI -模糊TOPSIS多响应质量问题在晶片制造过程中SP - 496158六世- 2013 AB -晶片制造过程中质量特性不同,变量和模糊。如何有效地处理晶圆制造过程中的多响应质量问题是一项具有挑战性的任务。摘要针对集成电路(IC)晶圆制造过程中的模糊多响应质量问题，提出了一种模糊多属性决策分析(MADA)方法，即基于理想解相似排序的模糊技术(TOPSIS)。模糊TOPSIS是处理不确定环境下决策问题的一种有效的模糊多目标决策方法。首先，提出了一种考虑质量特征间模糊性的模糊TOPSIS方法。然后，给出了模糊TOPSIS方法的具体实现步骤，说明了如何解决模糊晶圆制造质量问题。本文从IC半导体公司的实际数据中收集数据，并应用模糊TOPSIS方法寻找参数的最优组合。研究结果表明，该方法能够较好地解决晶圆制造的多响应问题。该方法也可应用于其他行业的多种质量特性问题的研究。SN - 1687-7101 UR - https://doi.org/10.1155/2013/496158 DO - 10.1155/2013/496158 JF - Advances in Fuzzy Systems PB - Hindawi Publishing Corporation KW - ER -