TY -的A2呗,Gongxun AU - Li表示非盟-杨,Wanmin盟——苏Junhong AU -杨,陈PY - 2018 DA - 2018/05/02 TI -沉积温度对结构的影响,光学特性和激光损伤的版本₃薄膜SP - 7328429六世- 2018 AB -版本₃电影是准备在不同沉积温度用电子束蒸发在Si和熔融石英基质。沉积温度和结构和性能之间的关系,研究了光学XPS, XRD和各种光学测试。结果表明,版本₃电影是无定形沉积温度低于200°C。版本的折射率₃电影增加从1.8302到1.9112在1064 nm的沉积温度。消光系数的版本₃电影小于10⁻⁶在350到1700纳米的范围。激光损伤阈值增加起初,然后随沉积温度的增加而减小。激光损伤阈值的最大是18.18 J /厘米²当沉积温度为150°C。相比之下,TiO₂电影、化学结构和激光损伤阈值的版本₃电影是由电子束蒸发制备更稳定。SN - 1687 - 8108 UR - https://doi.org/10.1155/2018/7328429 - 10.1155 / 2018/7328429摩根富林明凝聚态物理的进步PB - Hindawi KW - ER