JSPECgydF4y2Ba 《光谱学gydF4y2Ba 2314 - 4939gydF4y2Ba 2314 - 4920gydF4y2Ba HindawigydF4y2Ba 10.1155 / 2017/6359107gydF4y2Ba 6359107gydF4y2Ba 研究文章gydF4y2Ba 描述大气压氩气等离子体生成的915 MHz微波使用光学发射光谱学gydF4y2Ba http://orcid.org/0000 - 0001 - 6627 - 8900gydF4y2Ba MiotkgydF4y2Ba 罗伯特。gydF4y2Ba 1gydF4y2Ba HrycakgydF4y2Ba BartoszgydF4y2Ba 1gydF4y2Ba JasińskigydF4y2Ba 科学家们gydF4y2Ba 1gydF4y2Ba MizeraczykgydF4y2Ba 杰西gydF4y2Ba 2gydF4y2Ba KrstulovićgydF4y2Ba NikšagydF4y2Ba 1gydF4y2Ba 研究所的流体机械gydF4y2Ba 波兰科学院gydF4y2Ba Fiszera 14gydF4y2Ba 80 - 231年格但斯克gydF4y2Ba 波兰gydF4y2Ba pan.plgydF4y2Ba 2gydF4y2Ba 海洋电子学系gydF4y2Ba 格丁尼亚海事大学gydF4y2Ba Morska 81 - 87gydF4y2Ba 81 - 225年格丁尼亚gydF4y2Ba 波兰gydF4y2Ba am.gdynia.plgydF4y2Ba 2017年gydF4y2Ba 1gydF4y2Ba 12gydF4y2Ba 2017年gydF4y2Ba 2017年gydF4y2Ba 30.gydF4y2Ba 08年gydF4y2Ba 2017年gydF4y2Ba 16gydF4y2Ba 10gydF4y2Ba 2017年gydF4y2Ba 1gydF4y2Ba 12gydF4y2Ba 2017年gydF4y2Ba 2017年gydF4y2Ba 版权©2017年罗伯特Miotk et al。gydF4y2Ba 这是一个开放的文章在知识共享归属许可下发布的,它允许无限制的使用,分布和繁殖在任何媒介,提供最初的工作是正确的引用。gydF4y2Ba

介绍了调查的大气压力在915 MHz氩等离子体生成微波使用光学发射光谱学(OES)。915 MHz微波等离子体中引入和持续waveguide-supplied coaxial-line-based nozzleless微波等离子体源。介绍了调查的目的是估计参数生成的等离子体,即电子激发温度gydF4y2Ba TgydF4y2BaexcgydF4y2Ba、温度的等离子气体gydF4y2Ba TgydF4y2BaggydF4y2Ba,电子的浓度gydF4y2Ba ngydF4y2BaegydF4y2Ba。假设兴奋的氩原子水平局部热力学平衡,波尔兹曼方法允许在决定gydF4y2Ba TgydF4y2BaexcgydF4y2Ba8100 - 11000 K温度范围内的。等离子体气体的温度gydF4y2Ba TgydF4y2BaggydF4y2Ba估计通过比较模拟哦激进的光谱测量LIFBASE项目之一。获得的gydF4y2Ba TgydF4y2BaggydF4y2Ba在1200 - 2800 K温度范围。使用一个方法基于H的斯塔克展宽gydF4y2Ba βgydF4y2Ba 线,电子的浓度gydF4y2Ba ngydF4y2BaegydF4y2Ba确定的范围从1.4×10gydF4y2Ba15gydF4y2Ba1.7×10gydF4y2Ba15gydF4y2Ba厘米gydF4y2Ba−3gydF4y2Ba,根据吸收的功率微波等离子体。gydF4y2Ba

 波兰的基础科学gydF4y2Ba 53.2017gydF4y2Ba 国家科学中心gydF4y2Ba 2013/11 / N / ST8/00802gydF4y2Ba 1。介绍gydF4y2Ba

大气压微波等离子体源(MPSs冲击)发现了许多不同的物理和技术应用,如气态污染物的分解(gydF4y2Ba 1gydF4y2Ba- - - - - -gydF4y2Ba 4gydF4y2Ba),沉积薄层在纳米传感器(gydF4y2Ba 5gydF4y2Ba,gydF4y2Ba 6gydF4y2Ba),医学细菌失活(gydF4y2Ba 7gydF4y2Ba),和生产的氢通过碳氢化合物转换或其他航空公司(gydF4y2Ba 8gydF4y2Ba- - - - - -gydF4y2Ba 12gydF4y2Ba]。gydF4y2Ba

因为在气体等离子体处理的过程中,等离子体气体的温度和浓度的电子发挥重要作用;因此,这些基本参数是至关重要的知识对于理解化学动力学及其优化。gydF4y2Ba

在这项工作中,一个光学发射光谱学(OES) [gydF4y2Ba 13gydF4y2Ba- - - - - -gydF4y2Ba 17gydF4y2Ba)方法用于微波氩等离子体诊断。等离子体是由微波诱导频率915 MHz的waveguide-supplied coaxial-line-based nozzleless议员(gydF4y2Ba 1gydF4y2Ba]。提出了设备允许所谓的冷等离子体的产生,分为部分局部热力学平衡(PLTE)等离子体gydF4y2Ba 13gydF4y2Ba,gydF4y2Ba 14gydF4y2Ba,gydF4y2Ba 18gydF4y2Ba- - - - - -gydF4y2Ba 20.gydF4y2Ba]。gydF4y2Ba

 2。实验gydF4y2Ba

在图gydF4y2Ba 1(一)gydF4y2Ba国会议员的照片显示,而草案中展示了一个实验装置图gydF4y2Ba 1 (b)gydF4y2Ba。国会议员提供通过一个标准波导WR 975,最终通过一个可移动的柱塞,允许一个有效的传输的微波功率等离子体电场。gydF4y2Ba

(一)图的微波等离子体源和(b)实验装置用于光谱调查。gydF4y2Ba

在使用国会议员,放置一个石英管。管,两个气体流动形成的。第一个是轴流(气)处理,第二个是漩涡流(冷却气体)。在轴流,处理气体引入到石英管通过内部电极。漩涡流,冷却气体交在议员由四个入口位于无关地石英管墙(gydF4y2Ba 1gydF4y2Ba]。这导致了一个漩涡在石英管(漩涡)流。在这种类型的国会议员,等离子体火焰的形式出现在石英管内部电极的尖端。额外的漩涡流稳定放电中心的石英管和保护石英壁过热(gydF4y2Ba 1gydF4y2Ba]。以下议员波导,石英管周围是金属圆柱体与垂直狭缝观察生成的放电。gydF4y2Ba

对称双凸石英透镜(50毫米直径,焦距75毫米)被用来聚焦光发出的微波等离子体。此外瞄准发射光,两个膜片直径1毫米的小孔。在这些调查中,微波等离子体的光谱被麦克弗森209型分光计测量,配备了双向扫描单色仪。使用的光谱仪配备sensitivity-calibrated iCCD相机和衍射光栅1200槽/毫米。gydF4y2Ba

使用Hg我线gydF4y2Ba λgydF4y2Ba= 365.02 nm, 435.84 nm,和546.07 nm发出低压校准Hg-Ne灯,仪器谱线增宽gydF4y2Ba ΔgydF4y2Ba λgydF4y2Ba 我gydF4y2Ba 已经确定。所得的值gydF4y2Ba ΔgydF4y2Ba λgydF4y2Ba 我gydF4y2Ba 是关于0.07海里。gydF4y2Ba

 3所示。结果gydF4y2Ba

在实验过程中,氮气被用作冷却气体在恒定的流量50问/分钟。进行了调查与处理气体氩流量等于50问/分钟。吸收的功率微波等离子体gydF4y2Ba PgydF4y2Ba一个gydF4y2Ba计算作为事件的区别gydF4y2Ba PgydF4y2Ba我gydF4y2Ba和权力的体现gydF4y2Ba PgydF4y2BaRgydF4y2Ba在国会议员gydF4y2Ba 1gydF4y2Ba]。的gydF4y2Ba PgydF4y2Ba我gydF4y2Ba和gydF4y2Ba PgydF4y2BaRgydF4y2Ba使用定向耦合器被直接测量。在这些调查中,权力gydF4y2Ba PgydF4y2Ba一个gydF4y2Ba从2到4千瓦。gydF4y2Ba

下面的光谱记录15毫米内电极的尖端。在我们的测试中,我们关注的发射光谱范围在300 - 600海里。的一个示例记录光谱如图gydF4y2Ba 2gydF4y2Ba。检测发射谱线H或哦,激进分子,一个小的HgydF4y2Ba2gydF4y2BaO蒸汽(HgydF4y2Ba2gydF4y2Bao - 0.1 kg / h, hgydF4y2Ba2gydF4y2BaO蒸汽温度等于400°C)被添加到流程气体流量。gydF4y2Ba

测量氩等离子体的发射光谱(少量的HgydF4y2Ba2gydF4y2Ba与选定的氩4 O蒸汽)gydF4y2Ba pgydF4y2Ba4gydF4y2Ba 年代gydF4y2Ba和5gydF4y2Ba p -gydF4y2Ba4gydF4y2Ba 年代gydF4y2Ba过渡行玻耳兹曼图方法。吸收微波功率gydF4y2Ba PgydF4y2Ba一个gydF4y2Ba= 3千瓦和氩流量gydF4y2Ba 问gydF4y2Ba= 50 l / min。gydF4y2Ba

在进行的调查中,我们假设微波等离子体在当地大气压力通常是局部热力学平衡(gydF4y2Ba 13gydF4y2Ba,gydF4y2Ba 14gydF4y2Ba,gydF4y2Ba 18gydF4y2Ba- - - - - -gydF4y2Ba 20.gydF4y2Ba]。这种假设允许我们使用玻耳兹曼图方法来确定gydF4y2Ba TgydF4y2BaexcgydF4y2Ba(gydF4y2Ba 14gydF4y2Ba,gydF4y2Ba 15gydF4y2Ba]。行氩(参见图5过渡gydF4y2Ba 2gydF4y2Ba)选择确定gydF4y2Ba TgydF4y2BaexcgydF4y2Ba。选择氩线与玻尔兹曼图方法的参数表gydF4y2Ba 1gydF4y2Ba。玻耳兹曼图显示在图的一个例子gydF4y2Ba 3gydF4y2Ba。整合与实验点表示直线的氩原子激发态的平衡。获得的gydF4y2Ba TgydF4y2BaexcgydF4y2Ba在8100 - 11000 K的范围,如图gydF4y2Ba 4gydF4y2Ba。估计gydF4y2Ba TgydF4y2BaexcgydF4y2Ba温度增加而增加吸收微波功率gydF4y2Ba PgydF4y2Ba一个gydF4y2Ba。gydF4y2Ba

选择氩发射谱线的参数用于确定电子的激发温度gydF4y2Ba TgydF4y2BaexcgydF4y2Ba。gydF4y2Ba ngydF4y2Ba/gydF4y2Ba 米gydF4y2Ba分别为:能量水平上/下;gydF4y2Ba λgydF4y2Ba 纳米gydF4y2Ba:波长转换gydF4y2Ba ngydF4y2Ba→gydF4y2Ba 米gydF4y2Ba,gydF4y2Ba 一个gydF4y2Ba 纳米gydF4y2Ba过渡:爱因斯坦系数gydF4y2Ba ngydF4y2Ba→gydF4y2Ba 米gydF4y2Ba,gydF4y2Ba ggydF4y2Ba ngydF4y2Ba :统计上层的重量gydF4y2Ba ngydF4y2Ba。gydF4y2Ba EgydF4y2Ba ngydF4y2Ba上层的能量吗gydF4y2Ba ngydF4y2Ba。gydF4y2Ba

l.p.。gydF4y2Ba λgydF4y2Ba 纳米gydF4y2Ba(nm)gydF4y2Ba 过渡gydF4y2Ba 一个gydF4y2Ba 纳米gydF4y2Ba(10gydF4y2Ba7gydF4y2Ba年代gydF4y2Ba−1gydF4y2Ba)gydF4y2Ba ggydF4y2Ba ngydF4y2Ba EgydF4y2Ba ngydF4y2Ba(cmgydF4y2Ba−1gydF4y2Ba)gydF4y2Ba
1gydF4y2Ba 427.75gydF4y2Ba 5gydF4y2Ba pgydF4y2Ba→4gydF4y2Ba 年代gydF4y2Ba 0.0797gydF4y2Ba 3gydF4y2Ba 117151年gydF4y2Ba
2gydF4y2Ba 430.01gydF4y2Ba 0.0377gydF4y2Ba 5gydF4y2Ba 116999年gydF4y2Ba
3gydF4y2Ba 434.51gydF4y2Ba 0.0297gydF4y2Ba 5gydF4y2Ba 118407年gydF4y2Ba
4gydF4y2Ba 518.77gydF4y2Ba 5gydF4y2Ba dgydF4y2Ba→4gydF4y2Ba pgydF4y2Ba 0.1380gydF4y2Ba 5gydF4y2Ba 123372年gydF4y2Ba
5gydF4y2Ba 603.21gydF4y2Ba 0.1400gydF4y2Ba 9gydF4y2Ba 122036年gydF4y2Ba

玻耳兹曼情节的决心的例子gydF4y2Ba TgydF4y2BaexcgydF4y2Ba。gydF4y2Ba 我gydF4y2Ba 纳米gydF4y2Ba记录发射谱线的强度过渡gydF4y2Ba ngydF4y2Ba→gydF4y2Ba 米gydF4y2Ba,微波功率吸收gydF4y2Ba PgydF4y2Ba一个gydF4y2Ba= 3千瓦,氩流量gydF4y2Ba 问gydF4y2Ba= 50 l / min。gydF4y2Ba

电子激发温度作为吸收微波功率的函数gydF4y2Ba PgydF4y2Ba一个gydF4y2Ba。gydF4y2Ba

人们普遍认为微波放电,转动温度哦激进gydF4y2Ba TgydF4y2Ba腐烂gydF4y2Ba对应的转化温度重粒子在等离子体气体的等离子体(温度gydF4y2Ba TgydF4y2BaggydF4y2Ba)[gydF4y2Ba 16gydF4y2Ba,gydF4y2Ba 17gydF4y2Ba]。获得分子转动温度、哦gydF4y2Ba 一个gydF4y2Ba 2gydF4y2Ba ΣgydF4y2Ba +gydF4y2Ba →gydF4y2Ba XgydF4y2Ba 2gydF4y2Ba ΠgydF4y2Ba 是使用。这个乐队非常敏感对旋转温度的变化(gydF4y2Ba 16gydF4y2Ba]。后测量光谱哦,我们模拟这个乐队LIFBASE项目(gydF4y2Ba 21gydF4y2Ba]。这个程序允许计算等离子体的发射光谱辐射的各种气体单独转动和振动温度。在这个程序中,模拟哦带是安装在实验一(图gydF4y2Ba 5gydF4y2Ba)。一个好的协议被发现。光谱模拟进行高斯线形状与应用价值等于0.07海里。获得的气体温度gydF4y2Ba TgydF4y2BaggydF4y2Ba范围从1200到2800 K(图gydF4y2Ba 6gydF4y2Ba)。gydF4y2Ba

比较的测量和模拟LIFBASE发射光谱的哦。吸收微波功率gydF4y2Ba PgydF4y2Ba一个gydF4y2Ba= 3千瓦和氩流量gydF4y2Ba 问gydF4y2Ba= 50 l / min。gydF4y2Ba

测量转动温度哦激进的吸收微波功率的函数gydF4y2Ba PgydF4y2Ba一个gydF4y2Ba。gydF4y2Ba

通过使用氢气的方法基于斯塔克展宽HgydF4y2Ba βgydF4y2Ba 线,电子的浓度gydF4y2Ba ngydF4y2BaegydF4y2Ba在等离子体测定gydF4y2Ba 13gydF4y2Ba- - - - - -gydF4y2Ba 15gydF4y2Ba,gydF4y2Ba 17gydF4y2Ba]。水蒸气的引入导致氢H的发射谱线的出现gydF4y2Ba βgydF4y2Ba HgydF4y2Ba δgydF4y2Ba ,和HgydF4y2Ba γgydF4y2Ba 。在我们的工作中,我们只关注HgydF4y2Ba βgydF4y2Ba (486.13海里)。HgydF4y2Ba δgydF4y2Ba 和HgydF4y2Ba γgydF4y2Ba 线不明显或部分重叠的氩。因此,这两条线没有用于确定电子的浓度gydF4y2Ba ngydF4y2BaegydF4y2Ba。gydF4y2Ba

记录的形状HgydF4y2Ba βgydF4y2Ba 线是几种不同机制共同作用的影响的扩大(仪器gydF4y2Ba ΔgydF4y2Ba λgydF4y2Ba 我gydF4y2Ba ,范德瓦耳斯gydF4y2Ba ΔgydF4y2Ba λgydF4y2Ba WgydF4y2Ba ,斯塔克gydF4y2Ba ΔgydF4y2Ba λgydF4y2Ba 年代gydF4y2Ba ,共振gydF4y2Ba ΔgydF4y2Ba λgydF4y2Ba RgydF4y2Ba ,多普勒gydF4y2Ba ΔgydF4y2Ba λgydF4y2Ba DgydF4y2Ba 和自然gydF4y2Ba ΔgydF4y2Ba λgydF4y2Ba NgydF4y2Ba ),结果沃伊特概要文件(gydF4y2Ba 13gydF4y2Ba- - - - - -gydF4y2Ba 15gydF4y2Ba]。为了获得H的应用gydF4y2Ba βgydF4y2Ba 行调查实测断面,沃伊特函数原来的样貌。配件是使用原点执行软件(gydF4y2Ba 22gydF4y2Ba]。gydF4y2Ba

的多普勒展宽gydF4y2Ba ΔgydF4y2Ba λgydF4y2Ba DgydF4y2Ba 是由于等离子体原子的随机运动。这种影响可以从[计算gydF4y2Ba 15gydF4y2Ba,gydF4y2Ba 23gydF4y2Ba]gydF4y2Ba (1)gydF4y2Ba ΔgydF4y2Ba λgydF4y2Ba DgydF4y2Ba =gydF4y2Ba 7.17gydF4y2Ba ×gydF4y2Ba 10gydF4y2Ba −gydF4y2Ba 7gydF4y2Ba λgydF4y2Ba 0gydF4y2Ba TgydF4y2Ba 米gydF4y2Ba ,gydF4y2Ba 在哪里gydF4y2Ba λgydF4y2Ba 0gydF4y2Ba 是波长,gydF4y2Ba TgydF4y2Ba 在开尔文发射器的温度,gydF4y2Ba 米gydF4y2Ba 在a.m.u发射器的质量。在这种工作,gydF4y2Ba TgydF4y2Ba 被认为等于等离子气体的温度gydF4y2Ba TgydF4y2Ba ggydF4y2Ba 。范德瓦耳斯扩大gydF4y2Ba ΔgydF4y2Ba λgydF4y2Ba WgydF4y2Ba 是偶极兴奋的原子之间的相互作用的影响和中性原子基态gydF4y2Ba 14gydF4y2Ba]。的gydF4y2Ba ΔgydF4y2Ba λgydF4y2Ba WgydF4y2Ba 扩大可以从[估计gydF4y2Ba 23gydF4y2Ba]gydF4y2Ba (2)gydF4y2Ba ΔgydF4y2Ba λgydF4y2Ba WgydF4y2Ba =gydF4y2Ba 6.48gydF4y2Ba ×gydF4y2Ba 10gydF4y2Ba −gydF4y2Ba 22gydF4y2Ba pgydF4y2Ba kgydF4y2Ba TgydF4y2Ba ggydF4y2Ba 0.7gydF4y2Ba ,gydF4y2Ba 在哪里gydF4y2Ba pgydF4y2Ba 是压力和gydF4y2Ba kgydF4y2Ba 波尔兹曼常数。测定等离子体气体温度gydF4y2Ba TgydF4y2Ba ggydF4y2Ba 范德瓦耳斯允许估算值和多普勒展宽效应。使用上面的公式,的值gydF4y2Ba ΔgydF4y2Ba λgydF4y2Ba DgydF4y2Ba 和gydF4y2Ba ΔgydF4y2Ba λgydF4y2Ba WgydF4y2Ba 扩大的HgydF4y2Ba βgydF4y2Ba 行计算。获得的价值gydF4y2Ba ΔgydF4y2Ba λgydF4y2Ba DgydF4y2Ba 等于0.003 nm,Δ吗gydF4y2Ba λgydF4y2BaWgydF4y2Ba分别为= 0.02海里。在测试范围内的吸收微波功率gydF4y2Ba PgydF4y2Ba一个gydF4y2Ba,确定值是常数。介绍工作、共振和自然扩大已经省略了由于值低的半最大值宽度相比其他影响(gydF4y2Ba 13gydF4y2Ba- - - - - -gydF4y2Ba 15gydF4y2Ba]。gydF4y2Ba

考虑到估计的值gydF4y2Ba ΔgydF4y2Ba λgydF4y2Ba 我gydF4y2Ba ,gydF4y2Ba ΔgydF4y2Ba λgydF4y2Ba DgydF4y2Ba ,gydF4y2Ba ΔgydF4y2Ba λgydF4y2Ba WgydF4y2Ba H和获得价值的半最大值宽度gydF4y2Ba βgydF4y2Ba 线,明显的扩大gydF4y2Ba ΔgydF4y2Ba λgydF4y2Ba 年代gydF4y2Ba 计算(gydF4y2Ba 15gydF4y2Ba,gydF4y2Ba 23gydF4y2Ba]。在实验中,我们观察到一个线性斯塔克展宽的估计价值之间的关系gydF4y2Ba ΔgydF4y2Ba λgydF4y2Ba 年代gydF4y2Ba HgydF4y2Ba βgydF4y2Ba 线和吸收微波功率gydF4y2Ba PgydF4y2Ba一个gydF4y2Ba由等离子体。在计算gydF4y2Ba ngydF4y2BaegydF4y2Ba ,Gig-Card理论gydF4y2Ba 24gydF4y2Ba使用了)。测量电子的浓度gydF4y2Ba ngydF4y2BaegydF4y2Ba范围从1.4×10gydF4y2Ba15gydF4y2Ba1.7×10gydF4y2Ba15gydF4y2Ba厘米gydF4y2Ba−3gydF4y2Ba(图gydF4y2Ba 7gydF4y2Ba)。电子浓度的值表明之间的平衡电子与重粒子碰撞的结果是不能实现的。因此,不能被一个等离子体温度。gydF4y2Ba

电子的浓度作为吸收微波功率的函数gydF4y2Ba PgydF4y2Ba一个gydF4y2Ba。gydF4y2Ba

采用经典理想气体模型和使用测量电子的浓度,我们估计,等离子体的电离度~ 10gydF4y2Ba−4gydF4y2Ba。这表明电离程度太低使热化的电子能量分布函数。因此,可能存在缺乏平衡的基本状态和氩原子激发态的等离子体。这导致测量温度可能高估了。在测量中,我们记录辐射从激发态,它们碰撞的结果,而基本保持中立。gydF4y2Ba

 4所示。结论gydF4y2Ba

一个大气压力的调查在915 MHz氩等离子体生成微波使用光学发射光谱学(OES)提出了工作。这些调查了电子的激发温度gydF4y2Ba TgydF4y2BaexcgydF4y2Ba,气体温度gydF4y2Ba TgydF4y2BaggydF4y2Ba,电子的浓度gydF4y2Ba ngydF4y2BaegydF4y2Ba 在生成的氩等离子体。在测试范围内的吸收微波功率gydF4y2Ba PgydF4y2Ba一个gydF4y2Ba通过等离子体,我们观察到的激发温度的增加gydF4y2Ba TgydF4y2BaexcgydF4y2Ba,气体温度gydF4y2Ba TgydF4y2BaggydF4y2Ba,电子的浓度gydF4y2Ba ngydF4y2BaegydF4y2Ba。这些结果表明,适当选择的气体和议员的操作参数(中部和额外的流量,吸收微波功率)允许在获得等离子体所需的参数。还应该提到调查议员工作非常稳定的各种处理气体(氩气、氮气、空气和二氧化碳)在高流速和吸收微波功率等离子体可以改变在一个范围广泛。因此,上述特性使议员提出一个有吸引力的工具对不同气体处理在高流速。gydF4y2Ba

 的利益冲突gydF4y2Ba

作者宣称没有利益冲突。gydF4y2Ba

 确认gydF4y2Ba

作者感谢国家科学中心(项目没有。2013/11 / N / ST8/00802)和波兰的基础科学(FNP项目没有开始。53.2017)的金融支持这项工作。gydF4y2Ba

 MizeraczykgydF4y2Ba J。gydF4y2Ba JasińskigydF4y2Ba M。gydF4y2Ba NowakowskagydF4y2Ba H。gydF4y2Ba DorsgydF4y2Ba M。gydF4y2Ba 大气压力的研究微波等离子体用于气体处理gydF4y2Ba NukleonikagydF4y2Ba 2012年gydF4y2Ba 57gydF4y2Ba 2gydF4y2Ba 241年gydF4y2Ba 247年gydF4y2Ba 在香港gydF4y2Ba y . C。gydF4y2Ba 嗯gydF4y2Ba h·S。gydF4y2Ba 金gydF4y2Ba m·J。gydF4y2Ba 汉gydF4y2Ba h·S。gydF4y2Ba KogydF4y2Ba s . C。gydF4y2Ba 公园gydF4y2Ba 美国K。gydF4y2Ba 分解在大气压微波等离子体炬生成的光气gydF4y2Ba IEEE等离子体科学gydF4y2Ba 2005年gydF4y2Ba 33gydF4y2Ba 2gydF4y2Ba 958年gydF4y2Ba 963年gydF4y2Ba 10.1109 / TPS.2005.844595gydF4y2Ba 2 - s2.0 - 18844416868gydF4y2Ba 嗯gydF4y2Ba h·S。gydF4y2Ba 在香港gydF4y2Ba y . C。gydF4y2Ba 胫骨gydF4y2Ba d . H。gydF4y2Ba 微波等离子体炬及其应用gydF4y2Ba 等离子体科学和技术来源gydF4y2Ba 2006年gydF4y2Ba 15gydF4y2Ba 26gydF4y2Ba 34gydF4y2Ba 10.1088 / 0963 - 0252/15/2 / S04gydF4y2Ba 2 - s2.0 - 33646353914gydF4y2Ba KogydF4y2Ba Y。gydF4y2Ba 杨gydF4y2Ba G。gydF4y2Ba 常gydF4y2Ba d . p . Y。gydF4y2Ba 肯尼迪gydF4y2Ba i M。gydF4y2Ba 挥发性有机化合物的微波等离子体的转换gydF4y2Ba 空气与废物管理协会杂志》上gydF4y2Ba 2003年gydF4y2Ba 53gydF4y2Ba 5gydF4y2Ba 580年gydF4y2Ba 585年gydF4y2Ba 12774991gydF4y2Ba 10.1080 / 10473289.2003.10466191gydF4y2Ba LandreaugydF4y2Ba X。gydF4y2Ba LanfantgydF4y2Ba B。gydF4y2Ba 默尔gydF4y2Ba T。gydF4y2Ba Dublanche-TixiergydF4y2Ba C。gydF4y2Ba TristantgydF4y2Ba P。gydF4y2Ba 彻底的傅立叶变换红外光谱研究测微的氧化硅薄膜沉积的大气压微波等离子体炬gydF4y2Ba 欧洲物理杂志DgydF4y2Ba 2012年gydF4y2Ba 66年gydF4y2Ba 160年gydF4y2Ba 8gydF4y2Ba 10.1140 / epjd / e2012 - 20647 xgydF4y2Ba 2 - s2.0 - 84863692371gydF4y2Ba LandreaugydF4y2Ba X。gydF4y2Ba LanfantgydF4y2Ba B。gydF4y2Ba 默尔gydF4y2Ba T。gydF4y2Ba 拉博尔德gydF4y2Ba E。gydF4y2Ba Dublanche-TixiergydF4y2Ba C。gydF4y2Ba TristantgydF4y2Ba P。gydF4y2Ba 订购的SiOgydF4y2BaxgydF4y2BaHgydF4y2BaygydF4y2BaCgydF4y2BazgydF4y2Ba岛屿沉积大气压微波等离子体炬在Si(100)基板由nanoindentation图案gydF4y2Ba 欧洲物理杂志DgydF4y2Ba 2011年gydF4y2Ba 65年gydF4y2Ba 421年gydF4y2Ba 428年gydF4y2Ba 10.1140 / epjd / e2011 - 20503 7gydF4y2Ba 2 - s2.0 - 84856232707gydF4y2Ba MizeraczykgydF4y2Ba J。gydF4y2Ba DorsgydF4y2Ba M。gydF4y2Ba JasińskigydF4y2Ba M。gydF4y2Ba HrycakgydF4y2Ba B。gydF4y2Ba CzylkowskigydF4y2Ba D。gydF4y2Ba 大气压力低功率微波微等离子体源的微生物失活gydF4y2Ba 欧洲物理应用物理》杂志上gydF4y2Ba 2013年gydF4y2Ba 61年,第24309条gydF4y2Ba 10.1051 / epjap / 2012120405gydF4y2Ba 2 - s2.0 - 84874235326gydF4y2Ba MizeraczykgydF4y2Ba J。gydF4y2Ba JasińskigydF4y2Ba M。gydF4y2Ba 氢等离子体处理方法gydF4y2Ba 欧洲物理应用物理》杂志上gydF4y2Ba 2016年gydF4y2Ba 75年,第24702条gydF4y2Ba 10.1051 / epjap / 2016150561gydF4y2Ba 2 - s2.0 - 84981328183gydF4y2Ba 王gydF4y2Ba y F。gydF4y2Ba 蔡ChgydF4y2Ba H。gydF4y2Ba 常gydF4y2Ba w . Y。gydF4y2Ba 郭gydF4y2Ba y . M。gydF4y2Ba 甲烷蒸汽转化为生产氢在一个大气压微波等离子体反应器gydF4y2Ba 国际期刊的氢能源gydF4y2Ba 2010年gydF4y2Ba 35gydF4y2Ba 135年gydF4y2Ba 140年gydF4y2Ba 10.1016 / j.ijhydene.2009.10.088gydF4y2Ba 2 - s2.0 - 72649087189gydF4y2Ba JasinskigydF4y2Ba M。gydF4y2Ba CzylkowskigydF4y2Ba D。gydF4y2Ba HrycakgydF4y2Ba B。gydF4y2Ba DorsgydF4y2Ba M。gydF4y2Ba MizeraczykgydF4y2Ba J。gydF4y2Ba 大气压微波等离子体源制氢gydF4y2Ba 国际期刊的氢能源gydF4y2Ba 2013年gydF4y2Ba 38gydF4y2Ba 26gydF4y2Ba 11473年gydF4y2Ba 11483年gydF4y2Ba 10.1016 / j.ijhydene.2013.05.105gydF4y2Ba 2 - s2.0 - 84882453930gydF4y2Ba 林康gydF4y2Ba R。gydF4y2Ba 吉梅内斯gydF4y2Ba M。gydF4y2Ba 穆尼奥斯gydF4y2Ba J。gydF4y2Ba 赛斯gydF4y2Ba M。gydF4y2Ba 公路gydF4y2Ba m D。gydF4y2Ba 从乙醇分解制氢两种微波大气压等离子体源:surfatron和蒂亚戈火炬gydF4y2Ba 等离子体化学和等离子体处理gydF4y2Ba 2014年gydF4y2Ba 34gydF4y2Ba 145年gydF4y2Ba 157年gydF4y2Ba 10.1007 / s11090 - 013 - 9502 - 4gydF4y2Ba 2 - s2.0 - 84891847458gydF4y2Ba CzylkowskigydF4y2Ba D。gydF4y2Ba HrycakgydF4y2Ba B。gydF4y2Ba MiotkgydF4y2Ba R。gydF4y2Ba JasinskigydF4y2Ba M。gydF4y2Ba DorsgydF4y2Ba M。gydF4y2Ba MizeraczykgydF4y2Ba J。gydF4y2Ba 制氢转化乙醇用大气压微波等离子体gydF4y2Ba 国际期刊的氢能源gydF4y2Ba 2015年gydF4y2Ba 40gydF4y2Ba 14039年gydF4y2Ba 14044年gydF4y2Ba 10.1016 / j.ijhydene.2015.06.101gydF4y2Ba 2 - s2.0 - 84942986500gydF4y2Ba SismanoglugydF4y2Ba b . N。gydF4y2Ba GrigorovgydF4y2Ba k·G。gydF4y2Ba 桑托斯gydF4y2Ba r。gydF4y2Ba CaetanogydF4y2Ba R。gydF4y2Ba RezendegydF4y2Ba m . v . O。gydF4y2Ba 霍耶gydF4y2Ba y D。gydF4y2Ba 里巴斯gydF4y2Ba 诉W。gydF4y2Ba 光谱诊断和电场测量near-cathode地区大气压微等离子体射流gydF4y2Ba 欧洲物理杂志DgydF4y2Ba 2010年gydF4y2Ba 60gydF4y2Ba 479年gydF4y2Ba 487年gydF4y2Ba 10.1140 / epjd / e2010 - 00279 0gydF4y2Ba 2 - s2.0 - 78649860221gydF4y2Ba MiotkgydF4y2Ba R。gydF4y2Ba HrycakgydF4y2Ba B。gydF4y2Ba JasinskigydF4y2Ba M。gydF4y2Ba MizeraczykgydF4y2Ba J。gydF4y2Ba 光谱研究大气压915 MHz微波等离子体在高氩流量gydF4y2Ba 物理学杂志》:会议系列gydF4y2Ba 2012年gydF4y2Ba 406年,第012033条gydF4y2Ba 10.1088 / 1742 - 6596/406/1/012033gydF4y2Ba 2 - s2.0 - 84874046101gydF4y2Ba SismanoglugydF4y2Ba b . N。gydF4y2Ba GrigorovgydF4y2Ba k·G。gydF4y2Ba CaetanogydF4y2Ba R。gydF4y2Ba RezendegydF4y2Ba m . v . O。gydF4y2Ba 霍耶gydF4y2Ba y D。gydF4y2Ba microhollow阴极放电的光谱测量和电诊断氩流量在大气压力gydF4y2Ba 欧洲物理杂志DgydF4y2Ba 2010年gydF4y2Ba 60gydF4y2Ba 505年gydF4y2Ba 516年gydF4y2Ba 10.1140 / epjd / e2010 - 00219 0gydF4y2Ba 2 - s2.0 - 78649852202gydF4y2Ba andres IzarragydF4y2Ba C。gydF4y2Ba 紫外光谱哦用作分子高温计gydF4y2Ba 物理学学报D辑:应用物理gydF4y2Ba 2000年gydF4y2Ba 33gydF4y2Ba 14gydF4y2Ba 1697年gydF4y2Ba 1704年gydF4y2Ba 10.1088 / 0022 - 3727/33/14/309gydF4y2Ba 2 - s2.0 - 0034225477gydF4y2Ba HrycakgydF4y2Ba B。gydF4y2Ba JasinskigydF4y2Ba M。gydF4y2Ba MizeraczykgydF4y2Ba J。gydF4y2Ba 微波微等离子体的光谱调查在不同气体在大气压力gydF4y2Ba 欧洲物理杂志DgydF4y2Ba 2010年gydF4y2Ba 60gydF4y2Ba 609年gydF4y2Ba 619年gydF4y2Ba 10.1140 / epjd / e2010 - 00265 6gydF4y2Ba 2 - s2.0 - 78649875601gydF4y2Ba CapitelligydF4y2Ba M。gydF4y2Ba 报摊gydF4y2Ba G。gydF4y2Ba D 'AngolagydF4y2Ba 一个。gydF4y2Ba 等离子体化学物理的基本方面gydF4y2Ba 2012年gydF4y2Ba 66年gydF4y2Ba 纽约,纽约,美国gydF4y2Ba 施普林格gydF4y2Ba 施普林格系列原子光学和等离子体物理:热力学gydF4y2Ba 第九章gydF4y2Ba CapitelligydF4y2Ba M。gydF4y2Ba CelibertogydF4y2Ba R。gydF4y2Ba 报摊gydF4y2Ba G。gydF4y2Ba 埃斯波西托gydF4y2Ba F。gydF4y2Ba 金雀花gydF4y2Ba C。gydF4y2Ba HassounigydF4y2Ba K。gydF4y2Ba LaricchiutagydF4y2Ba 一个。gydF4y2Ba 隆戈gydF4y2Ba 年代。gydF4y2Ba 等离子体化学物理的基本方面gydF4y2Ba 2016年gydF4y2Ba 85年gydF4y2Ba 纽约,纽约,美国gydF4y2Ba 施普林格gydF4y2Ba 施普林格系列原子光学和等离子体物理:KinetisgydF4y2Ba 第五章gydF4y2Ba GriemgydF4y2Ba h·R。gydF4y2Ba 等离子体光谱原理gydF4y2Ba 剑桥专著等离子体物理、第7章gydF4y2Ba 1997年gydF4y2Ba 剑桥gydF4y2Ba 剑桥大学出版社gydF4y2Ba 187年gydF4y2Ba 220年gydF4y2Ba 卢克gydF4y2Ba J。gydF4y2Ba CrosleygydF4y2Ba d·R。gydF4y2Ba LIFBASE:数据库和光谱模拟程序(1.5版)(计算机软件)gydF4y2Ba 2015年gydF4y2Ba 美国硅谷,CAgydF4y2Ba SRI国际gydF4y2Ba 起源的实验室gydF4y2Ba 起源pro 9.1(计算机软件)gydF4y2Ba 2015年gydF4y2Ba 北安普顿,妈,美国gydF4y2Ba OriginLab公司gydF4y2Ba LazzaronigydF4y2Ba C。gydF4y2Ba 夏伯特gydF4y2Ba P。gydF4y2Ba 卢梭gydF4y2Ba 一个。gydF4y2Ba SadeghigydF4y2Ba N。gydF4y2Ba 鞘和电子密度动力学在正常和self-pulsing政权微空心阴极放电的氩气gydF4y2Ba 欧洲物理杂志DgydF4y2Ba 2010年gydF4y2Ba 60gydF4y2Ba 555年gydF4y2Ba 563年gydF4y2Ba 10.1140 / epjd / e2010 - 00259 4gydF4y2Ba 2 - s2.0 - 78649877880gydF4y2Ba GigososgydF4y2Ba m·A。gydF4y2Ba CardenososgydF4y2Ba 诉J。gydF4y2Ba 新氢等离子体诊断表明显扩大包括离子动力学gydF4y2Ba 物理期刊B:原子、分子和光学物理gydF4y2Ba 1996年gydF4y2Ba 29日gydF4y2Ba 20.gydF4y2Ba 4795年gydF4y2Ba 4836年gydF4y2Ba 10.1088 / 0953 - 4075/29/20/029gydF4y2Ba 2 - s2.0 - 0030258627gydF4y2Ba